Ein annar er gass{0}}fasa-hátturin, kemisk damp-avseting (CAV) háttur, eisini kendur sum pyrolysuháttur, turrháttur ella brenniháttur. Rávørurnar hjá henni eru sum heild silikontetraklorid, súrevni (ella luft) og vetni, sum reagera við høgum hita.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO{0}}HCl. Luft og vetni eru ávikavist pressurisering, skilnaður, køling og turrleiki, silika-turking, dustfjerning og filtrering áðrenn tað verður sent inn í syntetiska hydrolysuovnin. Eftir at rávøran av silikontetrakloridi verður send til destillatiónssúluna til destillatión, verður hon hitað og guvað í damparanum, og síðani send til tann syntetiska hydrolysuovnin við turrum og filtraðum luft sum burðarevnið. Silikon tetraklorid er dampað við høgum hita (eldhita 1000-1800 stig ) og fer síðani undir gass{8}}}}fasa hydrolysu við eini ávísari nøgd av hydrogeni og súrevni (ella luft) við umleið 1800 stigi . Hesa tíðina eru gassfasu silikapartiklar, sum eru framleiddar, ógvuliga fínar og mynda aerosol við gassum, sum eru trupul at fanga.
Tí verða teir fyrst samanlagdir til størri partiklar í einum aggregatori, síðani savnaðar av einum hvirluskiljara, og sendar til ein avmyndaligan ovn. Gassið-fasa silika verður vaskað við nitrogen-, sum inniheldur luft, til PH-virðið er 4 til 6, sum er lidna vøran